半導體真空幫浦GAST

半導體真空設備-吸附移載晶圓體

半導體技術支持日常生活中不可或缺的各種設備,例如電腦、智慧手機、家用電器、車輛和醫療設備。GAST 的無油式真空幫浦能夠承受最嚴苛的應用,非常適用於半導體行業中的許多應用以及不可接受油回流的任何應用。

產業應用:半導體設備及自動化設備

我司客戶從2010年開始採購G-0523-101Q-G588NDX,使用於吸附移載晶圓體居多,搭配幫浦的真空度規格約-90Kpa即可主要是抽氣流量要足,客戶有生產許多機種的半導體設備,從一開始其中一款設備使用G-0523-101Q-G588NDX到現在有3-4種機型使用G-0523-101Q-G588NDX

產品應用:
IC測試分類機IC Pick & Place Handler中,吸附移載晶圓體

過程:
半導體設備測試流程中,用於IC終端測試工程,把已完成的半導體原件或IC進行結構及功能的確認,以保證IC或元件在到達系統時的完整與正常。IC的製程永遠無法到達100%的良率,故在讓 IC上系統前,必需要先進行測試,以確定IC功能的正常與完整,以降低成本的損失,不僅能提升生產效率、減少人力需求,同時也增加了穩定度。

IC測試廠機台與設備介紹
• Tester : 測試機
提供IC電性測試,及測試後之分類訊號者
• Handler:分類機
提供IC搬運及接受Tester分類訊號,並將 IC分類者
• Prober:針測機
提供Wafer搬運及接受Tester分類訊浩 號,並製成Wafer Map及將Bad Die打Ink 者

IC測試分類機/分選機 (IC Test Handler)
提供IC搬運及接受Tester分類訊號,並將 IC分類者

如何推薦此產品,達到客戶需求:
GAST 真空產品類別有,葉片式真空幫浦、活塞式真空幫浦、膈膜式真空幫浦

• 葉片式真空幫浦
可真空與壓力兩用,葉片式噪音值較大,但無震動、無脈衝的氣流,耗材壽命長,約17,000hr,自行保養維護替換耗材簡易 (僅更換葉片)

• 活塞式真空幫浦
活塞的耗材壽命較低,活塞式噪音較小、體積也較小,在24小時運轉使用之下,約使用一年就需換缸套+皮碗

• 膈膜式真空幫浦
膈膜耗材耐用度更低,適用於氣體檢測,流量最小

因此適用於GAST旋轉葉片式(含馬達)類別
以無油的0523系列0823系列1423系列最為合適,可再依照所需的流量及壓力最產品挑選

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